从扑街写手到学霸科学家(216)
他们接下来的目标是几种富勒烯衍生物,一样是带酚基的,一样是含金刚烷还有其他若干。
甚至是非富勒烯体系的,也在他们研究之列。
一些则是现在普遍用的光刻胶,一些是国内学者研究地很多的9,9\'-螺二芴衍生物和双酚A衍生物,还有一些分子玻璃胶、酚醛树脂胶等等。(1)
这些都在他们的考察之列。
宋问声不可能因为自己有资料,就放弃研究其他的东西。
这样会故步自封。
起得比鸡早,睡得比狗晚,大概就是他们这样的了,就连饭是在等待实验的时候吃。
最忙碌的应该是宋问声。
他亲自指点那几个研究员合成富勒烯系列的衍生物,有时候还要去看看其他人合成得怎么样。
而曹能能和吴勇他们也是各自带领人研究别的,他们的经验也只是对别的,富勒烯这边他们插不上什么手。
有了宋问声时不时的指点,他们整个光刻胶小组每三天工作进度汇报上,永远都是走在最前列的。
时间只有六个月。
进入221项目大半个月的时候,他们的带酚基富勒烯光刻胶就已经验收成功,可以用在10nm-14nm的芯片制造当中。
这件喜事被迅速通报给全基地,给研发光刻机陷入低迷状态的研究员们带来一些鼓励和安慰。
在得知这是宋问声领导的小组之后,众人只有膜拜和感慨几个词语来形容他们此时此刻的心情了。
宋问声不愧是论文刷子!
不,应该说是科研杀手,在你意想不到的时候总是给人来那么一下,带来的不是绝望而是希望。
有了这件事情当做典型,基地里的许多研究员再次拾起刚来的时候的雄心壮志,重新上路。
曹能能和吴勇他们也在加紧,但是他们不是宋问声,没有那种如有神助的科研直觉和系统,只能靠他们的科研经验摸索。
他们也很不错,在一个月内,把以前使用的金属氧化物的聚合物光刻胶的精度提高到了可以在65nm-90nm的芯片制造当中使用,当然这里头离不开宋问声的指点。
本来有些小得意的他们,很快又被宋问声打败。
富勒烯衍生物 IM-MFPT在制程10nm以内表现出了比含酚基的富勒烯光刻胶更好的灵敏度和分辨率、低线宽粗糙度、高耐蚀刻性和工业加工相容性。(1)
而宋问声他们也迅速突破到了精度为5-10nm之内的芯片制造所使用的光刻胶。
作者有话说:
(1)来自于《7 nm 高分辨率极紫外光刻胶研究新进展》,谭俊玉;
(2)看到新闻说要有3nm的光刻机量产了,我心里一阵着急;
(3)富勒烯量产是个漏洞,我都忘记了,现在只能几句话补回来,前头光刻胶测试的时候忘记提一提中芯国际和芯片流片的问题了,大家忽略吧。
(4)谢谢大家的支持!感谢在2022-08-18 23:53:28-2022-08-20 20:17:10期间为我投出霸王票或灌溉营养液的小天使哦——
感谢灌溉营养液的小天使:春花秋月何時了 10瓶;历史必修 5瓶;晓雪 3瓶;
非常感谢大家对我的支持,我会继续努力的!
第173章 各怀鬼胎
这件事情报到应富华那里, 他也不敢相信,马上就站了起来,打算去看看宋问声那里的情况。
他一直没有对光刻胶小组进行太多管教,一个是因为光刻胶研究其实独立在光刻机之外也可以进行, 还有一个原因就是上面想再看看宋问声单独带领一个小组做项目会是什么样子。
宋问声已经有过多次组织实验项目的经验, 领导一个小组和领导一个课题组对于他来说区别不大, 只要他一日是诺奖得主,一日他都带有光环, 这些人一日都不敢小瞧他。
他甚至觉得他可以自己开发出一个「震慑」的技能。
上回只是部分工程师来验收成果,这一回是总工程师应富华带队,可想而知应富华对这件事情的看重程度。
来的时候,应富华也没有说什么, 只是跟在专业的研究人员后面,看他们验收成果。
验收成果不是一朝一夕, 如果是在外面的实验室,可能需要拿去专门的实验室里去验证,但是在这里,不需要。
他们有自己的渠道。
而结果,明天会得出来。
一些基本数据是没有问题的, 真刀真枪还是要显露在光刻机上,在芯片上。
应富华拍拍宋问声的肩膀, “宋院士这是状态正佳。”
宋问声谦虚的笑了笑,“之前进行过相关研究, 也对后续有些设想, 现在能够实现出来, 证明我的想法是对的。”
应富华看了看整个光刻胶实验室里的研究员都走出来看他们了, 脸上有些微的笑容, 不多,转瞬即逝,最后还是端起了威严的架子,“想吃什么想喝什么,和警卫员说,让他们采购,就当做是犒劳了。”
“耶!”
“太棒了!”
“天天吃食堂的饭我的嘴里都淡出个鸟味来了!”
“宋院士yyds!”
实验室里一阵欢呼,应富华伸出手压了压,轻轻的嘘了一声,“小声点,别人还要做实验室,你们轮换着两天,就当休息吧。”
“我那边还忙,先走了。”这一句,他是对宋问声说的。
宋问声点点头,送他出门口。
然后扭头看向这帮兔崽子,面露无奈又温柔的笑容,“你们真是……想吃什么,报上来吧!”
基地里其实有很多东西可以吃,补给绝对及时和正常,就是来来回回吃那些,大家有时候耶想吃点香的炸的辣的,反正怎么好吃什么来。
“俺想吃俺娘做的面了。”一个汉子呜呜的说了一声,马上就被旁边一个人敲了一下脑袋,“怎么?你还要警卫员把你娘送来?”
当下,大家又是想笑,但是又不敢大声笑,只能闷笑的。
这边的光刻胶小组其乐融融,可是隔壁的研发电子束检测系统的小组就像是身处冬天一样,大家唉声叹气的。
事实上除了光刻胶比较顺利,其他小组的研究都是陷入了困境当中。
这些专利基本上都是被美国和岛国的公司所垄断。
最重要的光学镜片被德国蔡司、美国Corning等公司垄断公司,以前的光刻机攻克计划里,光学镜片也不算是彻底解决了的一个难题。
如果是对精度要求不那么高的光学镜头,我国内是有产品可以替代的,光学镜头其实j方也有技术储备,以往的光刻机突破,光学镜头使用的都是j方技术,但是高精尖的光刻机用光学透镜技术实在是太高了。
上面都已经做好准备,利用一些特殊渠道,从蔡司那里搞来一批光学透镜。
我们可以先不造,但是不能没有相关技术。
这也是和美国谈判的「筹码」之一。
整个光学系统都陷入了困难,还有双工作台系统等等研究。
听着宋问声他们实验室那边传来的欢呼声,他们也落寞。
尤其是看到他们兴高采烈的讨论轮班休息,睡他个一天,或者在讨论吃什么,要吃个大炸鸡,吃个烤馍馍,要烧烤……别的小组毫不掩饰的流露出羡慕的神情。
宋问声吃完饭之后,回到了房间,看着眼前的面板,他的贡献度只有5%,这还是他忙活了四十多天来的成果。
看来刷成就也很不容易啊。
看来要找个机会四处去转转,看看有没有什么自己能够帮上忙的。
估计是一些人看见了隔壁组兄弟们幽怨的眼神,大大方方的把东西留下来大家一起吃,打算在午饭的点,大家一起加餐嘛!
应富华听警卫员说了这件事情,思考了一下,也笑了,让警卫员给他们多买点,大家下午都放一下午的假好了。
大家直接就在基地上面的一个比较隐蔽的地方,架起了烧烤架。
以前那是条件艰苦不允许,现在条件好了一点,也可以让科研人员换换脑子,松快一下。
基本上下面的人都来齐了,宋问声也是除了第一天报到的时候第一次见到这么齐的人。
在曹能能那个大嘴巴的宣传之下,大家才知道这顿烧烤是托了宋问声的福。